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一文与您分享三丰表面轮廓仪的操作方法

时间:2022-08-11 点击次数:150
   三丰表面轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量,还原出工件3D表面形貌宏微观信息,并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理,实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
 
  今天咱们就来聊一聊三丰表面轮廓仪的操作方法:
 
  1、将样品放置在载物台镜头下方。检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态,
 
  2、使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹。微调XY轴,找到待测区域,并重新找到干涉条纹。
 
  3、完成扫描设置和命名等操作。点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会),进行校平。
 
  4、进入数据处理界面,点击“校平”图标,和平面样品不同,台阶样品需手动选取基准区域,选好基准区域后,先“全部排除”再“包括”。
 
  5、若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致,可多选择几个区域作为基准面进行校平。
 
  6、台阶高度测量:线台阶高度测量。
 
  7、进入分析工具界面,点击“台阶高度”图标,即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。
 
  8、在右侧点击“手动检测”,根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域,数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值。
 
  9、台阶高度测量:线台阶高度测量。
 
  10、进入数据处理界面,点击“提取剖面”图标,使用合适方向的剖面线,提取目标位置的剖面轮廓曲线。
 
  11、进入分析工具界面,点击“台阶高度”图标,由于所测为中间凹槽到两侧平面高度,因此点击右侧工具栏,测量条对数选择“2”,将红色基准线对放置到凹槽平面中间,两对测量线对分别放置在两侧平面,即可在数据缆读取台阶高度数据。

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