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简述三丰表面轮廓仪的校准方法

更新时间:2023-02-02      点击次数:3396
  摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的三丰表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。
 
  下面要与大家分享的是三丰表面轮廓仪的校准方法:
 
  1、三维形貌校准:
 
  这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
 
  2、二维光强校准:
 
  这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;真彩模式可以复现表面彩色信息。由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为二维光强校准。
 
  3、横向校准:
 
  这一校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
 
  目前三丰表面轮廓仪适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值,交互缩放,X-Y和线段剖面,三维线路、混合和固定绘图,用于阶越高度测量的地区差异绘图。

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