接触式轮廓仪通过金刚石触针在被测表面匀速滑行，实时记录微观形貌，广泛应用于机械制造、模具、半导体及精密零件的粗糙度、波纹度、轮廓度及台阶高度等参数检测。其测量精度可达纳米级，但若操作不当，易因触针损伤、参数误设或装夹偏差导致数据失真甚至昂贵探针报废。接触式轮廓仪遵循轻触、稳装、精设、勤护的原则，才能实现测得准、护得久、判得明。
一、测量前准备
环境要求：
在恒温（20±1℃）、防震、无尘实验室操作，避免气流扰动；
样件处理：
清洁表面油污、碎屑（可用无水乙醇+无尘布），确保无附着颗粒；
装夹稳固，避免悬伸过长引起振动；平面度误差大的工件需用磁力吸盘或专用夹具调平。
二、规范操作流程
选择合适测针：
标准锥角90°、针尖半径2μm适用于多数场景；微小沟槽或陡壁需用5μm或更细针尖；
严禁用已磨损或弯曲触针测量（定期用标准样块验证）；
设定关键参数：
截止波长λc：按ISO4288选择（如0.8mm用于Ra≤0.1μm）；
测量速度：通常0.1–0.5mm/s，高精度测量选低速；
取样长度与评定长度：至少包含5个取样单元；
对刀与定位：
使用光学辅助对焦，使触针轻触表面（避免“砸针”）；
测量方向垂直于加工纹理，确保代表性。
三、测量中注意事项
避免超程：
预估台阶高度，设置Z向安全行程，防止触针撞底；
实时监控波形：
若出现毛刺状异常峰谷，可能为灰尘或振动干扰，应重测；
单次测量≤6mm：
长轮廓需分段拼接，避免导轨累积误差。
