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简要描述:粗糙度仪,X行程:50mmZ1行程:800μm示值误差:±5%直线度:0.4μm
粗糙度仪
粗糙度仪评定参数
评定参数
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
测量范围
Z轴
800μm
X轴
50mm
直线度精度
0.4μm
分辨率(Z轴)
0.001μm
采样数/分解能
9600点/16bit
滤波器
高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),2RC滤波器
取样长度
λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm)
截止波长
0.25,0.8,2.5
测量速度
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
返回速度
(自动) 1mm/s
示值误差
±5%
示值稳定性
3%
测量重复性
图形放大倍率
10-500000自动调整
传感器
针尖 R=2μm钻石(测量力1mN)
R=5μm钻石(测量力4mN)
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